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位移傳感器用于精密減振平臺設(shè)計
振動控制是振動工程領(lǐng)域內(nèi)的一個重要分支。抑制振動的方法主要有：消振、隔振、吸振、阻振或者改變系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。消振和改變系統(tǒng)結(jié)構(gòu)在很多情況下無法辦到，常用的振動控制方法是隔振、吸振、阻振。為了保證光學(xué)精密儀器工作基礎(chǔ)的穩(wěn)定性，需要減小或者消除振動對設(shè)備的影響。
精密減振平臺以高精度位移傳感器為測量單元，通過位移傳感器測量減振平臺支撐彈簧的長度變化，然后把輸出的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，再把數(shù)字信號送到DSP進(jìn)行計算，計算結(jié)果轉(zhuǎn)換成電流送給電磁驅(qū)動器，自動調(diào)整電磁驅(qū)動器的電磁力，使光學(xué)精密儀器受力平衡，達(dá)到減振的目的。
精密減振平臺為主動控制減振設(shè)計。整個平臺可以看做由：傳感單元、控制單元與執(zhí)行單元組成的閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)。傳感單元主要完成振動信號的采集，并將采集信號轉(zhuǎn)換為電信號，輸入控制單元實時計算出執(zhí)行單元的輸出量。位移傳感器對系統(tǒng)低頻振動與超低頻振動的測量性能優(yōu)于速度傳感器和加速度傳感器，測量精度與環(huán)境適應(yīng)性較好，可以很好滿足減振平臺的測量需求。
位移傳感器和電磁驅(qū)動器的聯(lián)合應(yīng)用，大幅改善了減振平臺的減振效果。由于各級減振系統(tǒng)之間是相互獨立的，更有利于多級減振，只需要考慮振動平臺的振幅，不需要考慮被隔振物體的振動情況。因為數(shù)據(jù)采集，傳輸，運算，再到電磁驅(qū)動器電流調(diào)整，設(shè)計中的延時可造成電磁力的大小與彈簧的彈力變化并不相等，因此精密減振平臺只能使振動衰減，并不能達(dá)到消振的效果。
隨著傳感器技術(shù)與測控技術(shù)的飛速發(fā)展，各種新型傳感器、微型傳感器快速投入市場，并大量應(yīng)用于各類測控系統(tǒng)。高精度位移傳感器的應(yīng)用更是提升了減振平臺的減振性能，使其逐漸具備更好的應(yīng)用價值和市場前景。
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